當前位置：四川英杰電氣股份有限公司>>射頻/濺射電源>>濺射電源>>MSB系列中頻濺射電源

MSB系列中頻濺射電源

返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協議為準

產品型號

品牌

廠商性質其他

所在地德陽市

在線詢價收藏產品查看聯系電話

百分零部件網采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

聯系方式：查看聯系方式

更新時間：2024-09-05 10:11:01瀏覽次數：46次

聯系我時，請告知來自百分零部件網

產品分類 品牌分類

  射頻/濺射電源

濺射電源

射頻電源

全部產品列表

暫無信息

四川英杰電氣股份有限公司

經營模式：其他

商鋪產品：42條

所在地區：四川德陽市

詢價 給他留言

產品簡介

英杰電氣中頻濺射電源憑借優異的波形調制技術，可實現輸出直流、直流脈沖、雙向方波、雙向梯型波等波形。產品具有輸出波形可調，輸出頻率可選，占空比可調，功率控制精準，以及低能量存儲和快速的電弧反應。為鍍膜工藝提供便利、精準的控制。產品主要應用于各種薄膜制造工藝，太陽能電池片行業，真空鍍膜行業；應用工藝：磁控濺射工藝、孿生靶濺射、管式PECVD。

詳細介紹

● 機架式安裝方式
● 快速的電弧響應，響應時間＜100ns
● 低能量儲存，＜0.5mJ/kW
● 采用多相交錯PFC技術，功率因數高達0.95
● 輸出模式多樣，可實現連續、斷續模式可選擇
● 逆變回路采用全軟開關技術，采用第三代半導體SiC作功率器件，效率優異

輸入	輸入電壓：3AC380V、50/60Hz	功率等級：20kW
輸入	輸出路數：2路
輸出	輸出電流：50A*2	輸出電壓：600V*2
技術指標	功率因數：0.95	轉換效率：94% 額定狀態下±0.5%
	調節精度：±0.5%	電弧響應時間：<100ns
	尺寸：4U	通訊：標配RS485/RS232(可選配 Profibus、Profinet、DeviceNET、EtherCAT)
注：產品不斷創新，性能繼續提升，本參數說明僅供參考。