產品名稱 | 氣體質量流量控制器WGL-5180(模擬) |
基本型號 | WGL-5180 | WGL-5180M |
流量規格①(N2標定) | 0~10,50,100,500 SCCM 0~15,20,25,30 SLM |
調節閥類型 | 常閉式 | 無 |
量程比 | (2~100)%F.S.或50:1 |
流量分辨率 | 0.1%F.S. |
準確 | ±1%F.S. (≤15SLM) ±2%F.S. (>15SLM) |
重復精度 | ±0.2%F.S. |
響應時間 | ≤2sec | ≤1sec |
工作壓差范圍 | 0.05~0.3MPa (<2slm)<> 0.1~0.3MPa (2SLM-10SLM) 0.15~0.3MPa(>10SLM) | <2MPa |
至大耐壓 | 2MPa |
工作環境溫度 | 5~45°℃ |
電纜接頭 | DB15pin(針形) |
輸入輸出信號 | 0~+5.00V(輸入阻抗大于100kΩ,輸 出電流不大于3mA) | 0~+5.00V(無輸入信號,輸出電流不 大于3mA) |
供電電源要求 | +15VDC(50mA),-15VDC(200mA) | +15VDC(50mA),-15VDC(50mA) |
對外單點泄漏率 | ≤1×10-8Pa·m3/S(He) |
介質接觸材質 | 316,316L,密封填料 |
密封材料 | 氯丁橡膠CR,氟橡膠 FKM |
管道接頭尺寸 | VCR型接頭:1/4" 雙卡套型接頭:1/4"、3/8"或φ6、φ10 mm 內螺紋:9/16-18UNF內螺紋(深度<8mm) |
凈重量 | 1.00kg | 0.8kg |
注1;滿量程流量不限于表中列出的流量規格,可以在20SLM~30SLM范圍內任選,例如23SLM。 |