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在微波和毫米波的頻率范圍內，根據測試原理的不同可以分為網絡參數法和諧振法兩大類。 網絡參數法是將待測樣品裝入測試傳感器中，比如波導、同軸線等各種類型的微波傳輸線以及微波天線，測試時將其視為雙端口或單端口網絡，用儀器測量得到復反射系數和復散射參數等表征其網絡特性的參量，然后利用自由空間法、傳輸/反射法、時域法、多厚度法、多狀態法的計算模型，結合電磁場理論推算出材料的復介電常數和復磁導率。 諧振法是將材料樣品分別置于分離式或閉式諧振腔中，或者將材料制作成微波諧振腔或諧振器，通過測試諧振系統的品質因數及諧振頻率，然后由諧振腔的電磁理論分析、微擾理論、傳輸線理論或諧振器理論推算出材料的電磁參數。
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